本专题涉及小型离子溅射的标准有29条。
国际标准分类中,小型离子溅射涉及到流体系统和通用件、真空技术、分析化学、半导体材料、泵、电子元器件综合、电学、磁学、电和磁的测量。
在中国标准分类中,小型离子溅射涉及到真空技术与设备、其他生产设备、泵、光学计量仪器、半金属与半导体材料综合、化学助剂基础标准与通用方法、基础标准与通用方法、化学、波导同轴元件及附件、电磁计量。
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