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离子溅射仪...

本专题涉及离子溅射仪...的标准有82条。

国际标准分类中，离子溅射仪...涉及到真空技术、流体系统和通用件、人体保健器具、分析化学、半导体材料、有色金属产品、电子管、光学和光学测量、电子显示器件、有色金属、辐射防护、辐射测量、空气质量、泵、电学、磁学、电和磁的测量、长度和角度测量、无损检测、航空航天制造用材料、环境试验、计量学和测量综合、词汇、电子元器件综合。

在中国标准分类中，离子溅射仪...涉及到其他生产设备、真空技术与设备、、泵、光学计量仪器、半金属与半导体材料综合、重金属及其合金、稀有轻金属及其合金、电化学、热化学、光学式分析仪器、化学助剂基础标准与通用方法、基础标准与通用方法、化学、电真空器件综合、色谱仪、稀有高熔点金属及其合金、轻金属及其合金、辐射防护仪器、半导体分立器件综合、电子技术专用材料、电磁计量、化学计量、电离辐射计量、核设施的辐射安全、复合材料与固体燃料、轻金属及其合金分析方法、环境监测仪器及其成套装置、电子测量与仪器综合、Ｘ射线、磁粉、荧光及其他探伤仪器。

行业标准-电子，关于离子溅射仪...的标准

SJ 1781-1981 溅射离子泵.试验方法
SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列
SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件

行业标准-机械，关于离子溅射仪...的标准

JB/T 4081-2011 真空技术溅射离子泵
JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件
JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法
JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数

德国标准化学会，关于离子溅射仪...的标准

DIN 28429:2003 真空技术.溅射离子泵验收规范
DIN IEC/TS 62743:2013 辐射防护仪器.电离辐射的脉冲场用电子计数辐射剂量计(IEC/TS 62743-2012)
DIN IEC 60562:1980 电子管入射电离辐射的测量
DIN IEC 60562:1980-05 电子管入射电离辐射的测量

中国团体标准，关于离子溅射仪...的标准

T/QGCML 018-2020 负离子发射仪
T/CAQI 202-2021 空气离子测量仪
T/CAIA YQ006-2018 离子色谱仪性能测试方法

国家质检总局，关于离子溅射仪...的标准

GB/T 25755-2010 真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量
GB/T 36244-2018 电感耦合等离子体原子发射光谱仪
GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
GB/T 18809-2002 空气离子测量仪通用规范
GB/T 29787-2013 辐射防护仪器测量环境中光子和中子辐射的移动式仪器

RU-GOST R，关于离子溅射仪...的标准

GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M型离子溅射泵.认证产品质量要求
GOST 5.413-1970 BP-150供电的粒状冷却二极管型离子溅射泵NMDO-01-01(NORD-100).认证产品质量要求
GOST 14337-1978 电离辐射测量仪器.术语和定义

美国材料与试验协会，关于离子溅射仪...的标准

ASTM E1162-87(2001) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
ASTM E1162-87(1996) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
ASTM E1438-91(2001) 用次级离子质谱法(SIMS)测量溅射深度成形界面的宽度
ASTM E1438-91(1996) 用次级离子质谱法(SIMS)测量溅射深度成形界面的宽度
ASTM E1162-11(2019) 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程
ASTM E1162-06 报告次级离子质谱法(SIMS)中溅射深度截面数据的标准实施规程
ASTM F1238-95(2003) 微电子设备用耐熔硅化物溅射电极
ASTM F1709-97 电子薄膜用高纯钛溅射靶的标准规范
ASTM F1709-97(2016) 电子薄膜用高纯钛溅射靶的标准规范
ASTM F1709-97(2002) 电子薄膜用高纯度钛溅射靶机的标准规范
ASTM F1709-97(2008) 电子薄膜用高纯度钛溅射靶机的标准规范
ASTM E1832-08 描述和指定直流等离子体原子发射光谱仪的标准实践
ASTM E1832-08(2017) 描述和指定直流等离子体原子发射光谱仪的标准实践
ASTM E684-95(2000) 固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程
ASTM E684-04 固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程
ASTM F1238-95(1999) 微电子设备用耐熔硅化物溅射电极的标准规范
ASTM F1238-95(2011) 微电子设备用耐熔硅化物溅射电极的标准规范
ASTM E1479-16 描述和指定电感耦合等离子体原子发射光谱仪的标准实践
ASTM F1467-99(2005)e1 微电子装置的电离辐射效应试验中 X 射线测试仪(近似等于10 keV 辐射量子)的使用的标准指南

行业标准-有色金属，关于离子溅射仪...的标准

YS/T 819-2012 电子薄膜用高纯铜溅射靶材
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

英国标准学会，关于离子溅射仪...的标准

BS ISO 17109:2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 17109:2022 表面化学分析深度剖析使用单层和多层薄膜的 X 射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱溅射深度分析中溅射速率的测定方法...
21/30433862 DC BS ISO 17109 AMD1 表面化学分析深度剖析使用单一和……的 X 射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱溅射深度分析中溅射速率测定方法
PD IEC/TS 62743:2012 辐射防护仪器仪表用于电离辐射脉冲场的电子计数剂量计
PD IEC TS 63050:2019 辐射防护仪器仪表电离辐射脉冲场剂量计
BS ISO 22415:2019 表面化学分析二次离子质谱分析有机材料氩簇溅射深度剖析中产量体积的测定方法

国际标准化组织，关于离子溅射仪...的标准

ISO 17109:2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
ISO 17109:2022 表面化学分析.深度剖面.用单层和多层薄膜在X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中测定溅射速率的方法
ISO 22415:2019 表面化学分析.二次离子质谱法.有机材料氩团簇溅射深度剖面测定屈服体积的方法

行业标准-农业，关于离子溅射仪...的标准

JJG(教委) 015-1996 感耦等离子体原子发射光谱仪检定规程
JJG(教委) 020-1996 离子色谱仪检定规程

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于离子溅射仪...的标准

GB/T 36240-2018 离子色谱仪
GB/T 41064-2021 表面化学分析深度剖析用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
GB/T 18809-2019 空气离子测量仪通用规范

SE-SIS，关于离子溅射仪...的标准

SIS SS IEC 731:1988 电子医疗设备．放射疗用电离辐射室剂量测定仪
SIS SS IEC 577:1981 核检测仪表．致电离辐射厚度测量仪

国际电工委员会，关于离子溅射仪...的标准

IEC TS 62743:2012 辐射防护仪器.电离辐射的脉冲场用电子计数辐射剂量计
IEC TS 63050:2019 辐射防护仪器.电离辐射脉冲场用剂量计
IEC 62438:2010 辐射防护仪器.环境中光子和中子辐射的测量用移动仪器
IEC 45B/706/DTS:2011 IEC/TS 62743(第一版):辐射防护检测仪表.电离辐射脉冲场用电子计数剂量计

韩国科技标准局，关于离子溅射仪...的标准

KS A 4042-1976(1997) 电离室辐射测量仪
KS A 4042-1982 电离室辐射测量仪
KS A 4042-2001 电离室型辐射测量仪

IEC - International Electrotechnical Commission，关于离子溅射仪...的标准

TS 62743-2012 辐射防护仪器电离辐射脉冲场电子计数剂量计（1.0版）

日本工业标准调查会，关于离子溅射仪...的标准

JIS H 1632-3:2014 钛.ICP等离子发射光谱仪.第3部分:硼的测定
JIS K 0127:1992 离子色谱仪分析通则
JIS Z 4614:1993 用电离辐射的测量仪器的辐射源容器
JIS H 1632-1:2014 钛.ICP等离子发射光谱仪.第1部分:通用要求和样品分解

CZ-CSN，关于离子溅射仪...的标准

CSN 35 6550-1984 电离辐射测量仪器．术语

国家计量检定规程，关于离子溅射仪...的标准

JJG 823-1993 离子色谱仪检定规程
JJG 823-2014 离子色谱仪检定规程
JJG(地质) 1008-1990 离子色谱仪检定规程
JJG 155-2020 氯离子扩散系数测定仪

美国机动车工程师协会，关于离子溅射仪...的标准

SAE AMS5793A-1992 等离子喷射粉末95Ni 5Al
SAE AMS5793B-2006 等离子喷射粉末95Ni 5Al

国家计量技术规范，关于离子溅射仪...的标准

JJF 1715-2018 离子色谱仪型式评价大纲

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于离子溅射仪...的标准

GB/T 32999-2016 表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率