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硅片切割

本专题涉及硅片切割的标准有3条。

国际标准分类中，硅片切割涉及到半导体材料、废物。

在中国标准分类中，硅片切割涉及到、污染控制技术规范。

中国团体标准，关于硅片切割的标准

• T/CNIA 0174-2022 硅片切割废料回收硅
• T/CPIA 0038-2022 光伏硅片切割用电镀金刚石线

工业和信息化部，关于硅片切割的标准

• HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法

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