[建]悬臂cantilever paddle 悬臂桨cap oxide 掩蔽氧化层capacitance 电容capacitance-voltage test(C-Vtest) 电容-电压测试capacitive coupled plasma 电容偶合等离子体capacitor 电容器 carbon tetrafluoride(CF4) 四氟化碳caro’s...
C-V法利用PN结或肖特基势垒在反向偏压时的电容特性,可以获得材料中杂质浓度及其分布的 信息,这类测量称为C-V测量技术。这种测量可以提供材料截面均匀性及纵向杂质浓度分 布的信息,因此比四探针、三探针等具有更大的优点。虽然扩展电阻也能测量纵向分布 ,但它需将样品进行磨角。但是C-V法既可以测量同型低阻衬底上外延材料的分布,也可测量高阻衬底用异型层的外延材料的分布。 ...
图6 不同硅结构杂化太阳能电池光电性能(a)光照条件下电流密度-电压曲线,(b)无光照条件下电流密度-电压曲线,(c)外量子效率曲线,(d)反射率曲线。图7 能带偏移示意图及电容-电压曲线(a)不同结构以及添加钝化层后的能带偏移示意图,(b)电容-电压曲线。...
不知您是否为外延层厚度无损分析问题而困扰,在此我们介绍一种光学无损外延层厚度分析技术——傅立叶变换红外反射光谱法(FTIR)。 红外光谱法可用于测量半导体外延层厚度,无论硅基还是化合物半导体,且测量精度极高。此方法是基于红外光在层状结构中产生的光干涉效应的分析,结合基础的物理自洽拟合模型,充分利用所测得的光谱特征,拟合计算给出准确的层厚厚度值。...
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