GB/T 6624-2009
硅抛光片表面质量目测检验方法

Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection


标准号
GB/T 6624-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 14264
被代替标准
GB/T 6624-1995
适用范围
本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

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