GB/T 14146-2009
硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法
Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
GBT14146-2009, GB14146-2009
2021-12
GB/T 14146-2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 14146-2009
- 别名
- GBT14146-2009
GB14146-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14146-2021
- 当前最新
- GB/T 14146-2021
- 引用标准
- GB/T 14847-1993 GB/T 1550-1997 GB/T 1552-1995
- 被代替标准
- GB/T 14146-1993
- 本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。
本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为：4×10
cm ～8×10 cm 。 本标准测试的硅外延层的厚度必须大于测试偏压下耗尽的深度。 本标准也适用于硅抛光片的载流子浓度测量。
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