GB/T 29505-2013
硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer
GB/T 29505-2013 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 29505-2013
- 发布日期
- 2013年05月09日
- 实施日期
- 2014年02月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H81
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 14264
- 适用范围
- 本标准提供了硅片表面粗糙度测量常用的轮廓仪、干涉仪、散射仪三类方法的测量原理、测量设备和程序,并规定了硅片表面局部或整个区域的标准扫描位置图形及粗糙度缩写定义。本标准适用于平坦硅片表面的粗糙度测量;也可用于其他类型的平坦晶片材料,但不适用于晶片边缘区域的粗糙度测量。本标准不适用于带宽空间波长≤10 nm的测量仪器。