NF C96-050-22-2014
半导体器件. 微型机电装置. 第22部分: 柔性基板上导电薄膜机电拉伸试验方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22 : electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates

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标准号

NF C96-050-22-2014

发布日期

2014年12月26日

实施日期

2014年12月26日

废止日期

无

国际标准分类号

29.045;31.080.99

发布单位

FR-AFNOR

引用标准

CEI 62047-2/2006 CEI 62047-3:2006 CEI 62047-8:2011 ISO 527-3

适用范围

La présente partie de l'IEC 62047 spécifie une méthode d'essai de traction en vue de mesurer les propriétés électromécaniques des matériaux des systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electromechanical Systems) de couches minces conductrices collés sur des substrats souples non conducteurs. Les structures en couches minces sur des substrats souples sont largement utilisées dans les MEMS, les produits grand public, et les électroniques montés sur support souple. Le comportement électrique des couches sur substrats souples diffère de celui des couches et substrats indépendants du fait des interactions liées aux interfaces. Différentes combinaisons de sub

NF C96-050-22-2014系列标准