半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法 是非强制性国家标准,您可以免费下载前三页
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【研究背景】从声波发生器和接收器到纳米机电系统(NEMS)和净水装置,纳米级厚的自由悬浮机电膜是广泛技术的核心。在机电膜中使用超薄、轻质材料可显著降低能耗,提高机械和电能效率。原子薄层石墨烯具有重量轻、导电率高、机械强度高等优点,在轻质薄膜中具有广阔的应用前景。石墨烯被称为最强的二维材料,它可以通过机电驱动产生高声压级(SPL),这使得它有利于声学应用。...
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