La présente partie de la CEI 62047 spécifie la méthode d'essai de flexion des matériaux en couche mince de longueur et largeur inférieures à 1 mm et d'épaisseur comprise entre 0,1 pico m et 10 pico m. Les couches minces sont les principales structures utilisées pour les matériaux des systèmes microélectromécaniques (dont l'abréviation utilisée dans le présent document est MEMS, Micro-Electromechanical Systems) et des micromachines.Les structures des matériaux principaux pour les systèmes microélectromécaniques, les micromachines, etc., présentent des caractéristiques spéciales telles que des dimensions de l'ordre de quelques microns, la fabrication des maté