GB/T 12963-2014
电子级多晶硅
Electronic-grade polycrystalline silicon
GBT12963-2014, GB12963-2014
2023-07
GB/T 12963-2014 发布历史
本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
GB/T 12963-2014由国家质检总局 CN-GB 发布于 2014-12-31，并于 2015-09-01 实施，于 2023-07-01 废止。
GB/T 12963-2014 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 12963-2014 发布之时，引用了标准
- GB/T 13389 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
- GB/T 14264 半导体材料术语
- GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法*， 2018-12-28 更新
- GB/T 1551 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法*， 2021-05-21 更新
- GB/T 1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法
- GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法*， 2018-09-17 更新
- GB/T 1558 硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法
- GB/T 24574 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
- GB/T 24581 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法*， 2022-03-09 更新
- GB/T 24582 酸浸取.电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
- GB/T 4059 硅多晶气氛区熔基磷检验方法*， 2018-12-28 更新
- GB/T 4060 硅多晶真空区熔基硼检验方法*， 2018-09-17 更新
- GB/T 4061 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
* 在 GB/T 12963-2014 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 12963-2014的历代版本如下：
- 2022年 GB/T 12963-2022 电子级多晶硅
- 2014年 GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
- 2009年 GB/T 12963-2009 硅多晶
- 1996年 GB/T 12963-1996 硅多晶
- 标准号
- GB/T 12963-2014
- 别名
- GBT12963-2014
GB12963-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 12963-2022
- 当前最新
- GB/T 12963-2022
- 引用标准
- GB/T 13389 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1551 GB/T 1553 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 24574 GB/T 24581 GB/T 24582 GB/T 4059 GB/T 4060 GB/T 4061
- 被代替标准
- GB/T 12963-2009