本专题涉及钛离子溅射仪的标准有26条。
国际标准分类中,钛离子溅射仪涉及到真空技术、分析化学、流体系统和通用件、半导体材料、泵。
在中国标准分类中,钛离子溅射仪涉及到真空技术与设备、化学助剂基础标准与通用方法、基础标准与通用方法、化学、半金属与半导体材料综合、光学计量仪器、泵、其他生产设备。
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