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ウェーハ検査

ウェーハ検査は全部で 8 項標準に関連している。

ウェーハ検査 国際標準分類において、これらの分類:半導体材料、 金属材料試験、 光学および光学測定。


Group Standards of the People's Republic of China, ウェーハ検査

  • T/IAWBS 008-2019 SiCウェーハの残留応力検出方法
  • T/ZSA 38-2020 SiCウェーハの残留応力検出方法
  • T/CASAS 013-2021 炭化珪素ウェーハの転位密度検出法 画像認識法と組み合わせたKOH腐食

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, ウェーハ検査

  • GB/T 26066-2010 シリコンウェーハ上の浅い腐食ピットを検出するための試験方法
  • GB/T 31351-2014 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハのマイクロチューブ密度の非破壊検査法

Professional Standard - Aviation, ウェーハ検査

  • HB 7782-2005 一方向凝固ブレードにおける再結晶の検出および評価方法

RU-GOST R, ウェーハ検査

  • GOST 8.215-1976 ГСИ. フラットクリスタル (干渉測定用の平らなガラス片). 校正方法とツール

GOSTR, ウェーハ検査

  • GOST 8.215-2019 ГСИ フラットクリスタル(干渉測定用の平らなガラス片) 校正方法とツール




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