AFM的Contact 模式
a)点击实验方案选择图标 ,打开实验方案选择;
b)选择实验具体模式,Contact Mode;
c)选择实验环境,Air;d)进入实验界面;e
)根据上面提到的步骤,调整激光,并将Head靠近样品表面以看清样品;
f)点击“Check Parameters”图标,进入实验参数设置;
g)设定以下扫描参数:Scan size小于1 um,X offset和 Y offset设为 0,Scan angle 设为0;
h)点击Engage 进针;
i)进针结束开始扫图。将 Scan size 设置成要扫的形貌大小;
j)观察 Height Sensor 图中观察 Trace和Retrace 两条曲线的重合情况;
k)优化 Integral gain和 Proportional gain。一般的调节方法为:增大Integral gain,使Trace和Retrace曲线开始震荡,然后减小 Integral gain直到震荡消失,接下来用相同的办法来调节 Proportional gain。通过调节增益来使两条扫描线基本重合并且没有震荡;
l)优化Setpoint。在Contact模式中,调节Deflection setpoint直到Trace和Retrace两条扫描线基本一致;
m)调节扫描范围和扫描速率。随着扫描范围的增大,扫描速率必须相应降低。大的扫描速率会减少漂移现象,但一般只用于扫描小范围的很平的表面;
n)如果样品很平,可以适当减小Z Range的数值,这将提高Z方向的分辨率。
2.8 存图。对扫描图像存图,通过可以设置文件名及存图路径。
2.9 退针。点击Withdraw,退针。
2.10 关机
a)关闭Nanoscope 软件;
b)关闭Nanoscope 控制器;
c)关闭Dimension Stage控制器;
d)关闭计算机和显示器。
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