SEM真空系统
SEM真空系统
不同的灯丝,SEM真空系统的设计有所不同。在钨灯丝系统中,灯丝的真空度受到运行状态影响。例如,每次加载或卸载样品时,都会有空气进入真空柱,影响灯丝的使用寿命。观察不导电样品时,通常需要低真空,也会缩短灯丝寿命。对于CeB6系统,比如飞纳电镜,内置涡轮分子泵,采用分级真空系统,通过压差光阑使得真空柱的各部分具有不同的真空度,保证灯丝时刻处于高真空的状态下。这意味着,在低真空环境下加载和观测样品不会影响灯丝寿命。
图2:真空柱的截面图与电子枪结构示意图
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