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水环式真空泵可以抽取哪些气体

2021.7.11

  1、水环式真空泵真空系统工艺过程中产生的气体

  包括工艺过程中材料放出的气体,以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中

  2、水环式真空泵真空系统内原本存在的大气气体

  水环式真空泵真空系统中真空容器室、真空管路等,原本就含有一定量的大气气体成分,在抽气初期,它们是真空系统抽气的主要气体负荷,也是被系统先抽走的

  3、水环式真空泵真空系统中的泄漏气体

  泄漏气体包括大气通过真空密封的连接处,以及各种漏隙通道泄漏进入真空系统内部的气体

  4、水环式真空泵真空系统中各材料表面解吸释放出来的气体

  常压下水环式真空泵真空系统中的材料表面会吸附、溶解部分气体。在负压状态下,这部分气体会被重新释放出来。它的放气流量与材料性能、处理工艺以及材料表面状态有关

  5、大气通过器壁材料渗 透到水环式真空泵系统内的气体

  气体在固体中会发生溶解,渗 透。因此大气通过水环式真空泵容器壁结构材料,会向真空系统内渗 透部分气体

  水环式真空泵抽取的气体中,除了有工作过程产生的各种气体,还包括系统中原有的空气和大气中渗 透进来的气体,这些气体都能够通过水环式真空泵工作进行排出,从而提高工作效率

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