GB/T 41652-2022
刻蚀机用硅电极及硅环
Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
GBT41652-2022, GB41652-2022
说明：
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- 标准号
- GB/T 41652-2022
- 别名
- GBT41652-2022
GB41652-2022 - 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 41652-2022
- 引用标准
- GB/T 11073 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 29505 GB/T 6624
- 适用范围
- 本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。 本文件适用于p<100>直拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200 mm~450 mm 的硅电极及硅环。
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