GB/T 6618-1995
硅片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
GBT6618-1995, GB6618-1995
2010-06
GB/T 6618-1995 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 6618-1995
- 别名
- GBT6618-1995
GB6618-1995 - 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 6618-2009
- 当前最新
- GB/T 6618-2009
- 本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片（简称硅片）厚度和总厚度变化的分立点式和扫描式测量方法。
GB/T 6618-1995相似标准
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