GB/T 6618-1995
硅片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
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- 标准号
- GB/T 6618-1995
- 发布日期
- 1995年04月18日
- 实施日期
- 1995年12月01日
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 29.040.30
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 6618-2009
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片（简称硅片）厚度和总厚度变化的分立点式和扫描式测量方法。
GB/T 6618-1995系列标准
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