GB/T 1558-2009
硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法
Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
GB/T 1558-2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 1558-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- 国家质检总局
- 引用标准
- GB/T 14264-2009 GB/T 6618-2009
- 被代替标准
- GB/T 1558-1997
- 适用范围
- 本标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法。 本标准适用于电阻率高于3Ω•cm的p型硅片及电阻率高于1Ω•cm的n型硅片中代位碳原子含量的测定，对于精密度要求不高的硅片，可以测量电阻率高于0.1Ω•cm的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在间隙位置，因而本方法不能测定总碳含量。 也适用于硅多晶中代位碳原子含量测定，但其晶粒界间区的碳同样不能测定。