GB/T 1558-2009
硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法
Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
GBT1558-2009, GB1558-2009
2024-07
GB/T 1558-2009 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 1558-2009
- 别名
- GBT1558-2009
GB1558-2009 - 发布
- 2009年
- 采用标准
- SEMI MF 1391-0704 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 1558-2023
- 当前最新
- GB/T 1558-2023
- 引用标准
- GB/T 14264-2009 GB/T 6618-2009
- 被代替标准
- GB/T 1558-1997
- 本标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法。 本标准适用于电阻率高于3Ω•cm的p型硅片及电阻率高于1Ω•cm的n型硅片中代位碳原子含量的测定，对于精密度要求不高的硅片，可以测量电阻率高于0.1Ω•cm的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在间隙位置，因而本方法不能测定总碳含量。 也适用于硅多晶中代位碳原子含量测定，但其晶粒界间区的碳同样不能测定。...
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