GB/T 14140-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30,并于 2010-06-01 实施。
GB/T 14140-2009 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法的最新版本是哪一版?
最新版本是 GB/T 14140-2009 。
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径,可测最大直径为 ∮300mm。不适用于测量硅片的不圆度。
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