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激光干涉仪的测试方法

本专题涉及激光干涉仪的测试方法的标准有101条。

国际标准分类中,激光干涉仪的测试方法涉及到光学和光学测量、玻璃、长度和角度测量、光电子学、激光设备、建筑材料、光纤通信、光学设备、摄影技术、振动、冲击和振动测量、振动和冲击(与人有关的)、石油和天然气工业设备、体积、质量、密度和粘度的测量。

在中国标准分类中,激光干涉仪的测试方法涉及到供热器材设备、工业技术玻璃、机械量仪表、自动秤重装置与其他检测仪表、陶瓷、玻璃综合、光学仪器综合、物质成份分析仪器与环境监测仪器综合、光通信设备、物理学与力学、声学仪器与测震仪、敏感元器件及传感器、量具与量仪、激光器件、噪声、振动测试方法、光电子器件综合、光学计量仪器、仪器、仪表用材料和元件、电子光学与其他物理光学仪器、基础标准与通用方法、电子技术专用材料。


韩国科技标准局,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • KS B 8400-2-2010 激光和激光相关设备.激光位移测量干涉仪测试方法.第2部分:激光干涉仪的试验方法
  • KS B 8400-2-2015 激光和激光相关设备.激光位移测量干涉仪测试方法.第2部分:激光干涉仪的试验方法
  • KS B 8400-2-2015(2020) 激光和激光相关的设备 - 试验方法激光干涉仪用于位移测量第2部分:试验方法激光干涉仪
  • KS B 8400-2-2020 激光器和激光相关设备 位移测量用激光干涉仪试验方法 第2部分:激光干涉仪试验方法
  • KS B 8400-1-2010 激光和激光相关设备.激光位移测量干涉仪测试方法.第1部分:稳定连续波激光波长的测试方法
  • KS B 8400-1-2015 激光和激光相关设备.激光位移测量干涉仪测试方法.第1部分:稳定连续波激光波长的测试方法
  • KS L 2106-1994 激光干涉法测量玻璃均匀性的方法
  • KS L 2106-2019 激光干涉法测量玻璃均匀性的方法
  • KS B 8400-1-2015(2020) 激光及激光相关设备位移测量用激光干涉仪试验方法第1部分:稳频连续波激光频率稳定性试验方法
  • KS L 2106-2009 玻璃均匀度测定方法.激光干涉法
  • KS B 8400-1-2020 激光器及激光相关设备 位移测量用激光干涉仪试验方法 第1部分:稳频连续波激光器频率稳定性试验方法
  • KS L 2106-2009(2019) 用激光干涉法测量眼镜的均匀度的方法
  • KS C 6911-2020 干涉滤光片的测试方法
  • KS L 2105-2006 玻璃线膨胀系数测定方法.激光干涉法
  • KS L 2105-2021 激光干涉法测量低膨胀玻璃线性热膨胀系数的方法
  • KS L 2105-2006(2021) 低膨胀玻璃线性热膨胀系数的激光干涉测量方法
  • KS L 2105-2006(2016) 激光干涉法测量低膨胀玻璃的线性热膨胀系数
  • KS B ISO 11551-2020 光学和光学仪器 ―激光器和激光相关设备 ―光学激光元件吸收率的测试方法
  • KS B 0713-1-2012 振动和冲击传感器的校准方法 第1部分:使用激光干涉仪进行第一次振动校准
  • KS B ISO 13694:2015 光学和光学仪器.激光和激光设备.激光束能量密度分布的试验方法
  • KS B ISO 13694:2006 光学和光学仪器.激光和激光设备.激光束能量密度分布的试验方法
  • KS B ISO 13694-2020 光学和光学仪器 激光器和激光相关设备 激光束功率[能量]密度分布的测试方法
  • KS B ISO 11554-2020 光学和光学仪器 ― 激光和激光相关设备 ― 激光束功率、能量和时间特性的测试方法
  • KS B ISO 13694-2015(2020) 光学和光学仪器 - 激光和激光相关设备 - 激光束功率测试方法[能量]密度分布
  • KS B ISO 11551-2015(2020) 光学和光学仪器激光和激光相关设备光学激光元件吸收率的试验方法
  • KS B 0713-1-2001(2011) 震动和冲击拾取的校准方法 - 第1部分:使用激光干涉振动校正
  • KS B ISO 16063-13:2003 振动和冲击传感器的校准方法.第13部分:激光干涉法冲击绝对校准
  • KS B ISO 16063-11:2003 振动与冲击传感器的校准方法.第11部分:激光干涉法振动绝对校准
  • KS B ISO 16063-11:2018 振动和冲击传感器校准方法第11部分:激光干涉测量一次振动校准

日本工业标准调查会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • JIS R 3252:1994 激光干涉仪检测玻璃匀质性的测量方法
  • JIS R 3251:1995 用激光干涉法检测低膨胀玻璃的线性热膨胀系数的测量方法

国家军用标准-总装备部,关于激光干涉仪的测试方法的标准

美国国家标准学会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

美国机械工程师协会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

法国标准化协会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • NF S10-201*NF ISO 17411:2014 光学与光子学 光学材料与元件 激光干涉法测试光学玻璃均匀性的方法
  • NF E90-350-1:1994 捕获振动和巧克力的方法 第1部分:利用激光干涉仪捕获初级振动
  • NF ISO 17411:2023 光学和光子学。光学材料和元件。使用激光干涉测量光学玻璃均匀性的方法
  • NF S10-113:1997 光学和光学仪器.激光和激光相关的设备.光学激光元件吸收比的试验方法
  • NF S10-113:2004 光学和光学仪器.激光和与激光相关的设备.光学激光组件吸收性的试验方法

英国标准学会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • BS ISO 17411:2022 光学和光子学 光学材料及元件 激光干涉测量光学玻璃均匀性的测试方法
  • BS ISO 17411:2014 光学和光子学. 光学材料和部件. 采用激光干涉测量光学玻璃均匀性的试验方法
  • BS 6955-1:1994 振动和冲击传感器的校准 激光干涉法初级振动校准方法
  • BS ISO 16063-13:2001 振动和冲击传感器的校准方法.激光干涉法的主要冲击校准
  • BS ISO 16063-15:2006 振动和冲击传感器的校准方法.用激光干涉测量法进行初级振动角校准
  • BS ISO 16063-11:1999(2001) 振动和冲击传感器的校准方法 第11部分:激光干涉法初级振动校准
  • BS ISO 16063-11:1999 振动和冲击传感器的校准方法.采用激光干涉量度法的主要振动校准
  • BS ISO 16063-11:2001 振动和冲击传感器的校准方法.采用激光干涉量度法的主要振动校准
  • BS EN ISO 13694:2001 光学和光学仪器.激光和激光设备.激光束功率(能量)密度分布的试验方法

国际标准化组织,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • ISO 17411:2022 光学和光子学.光学材料和部件.用激光干涉法测定光学玻璃均匀性的试验方法
  • ISO/TR 14999-3:2005 光学和光子学.光学元件和光学系统的干涉仪测量.第3部分:干涉仪试验设备和测量的校准和验证
  • ISO 17411:2014 光学和光子学. 光学材料和部件. 采用激光干涉测量光学玻璃均匀性的试验方法
  • ISO 11551:2019 光学和光学仪器 - 激光和激光相关设备 - 光学激光部件的吸收率测试方法
  • ISO 13694:2000 光学和光学仪器 激光和激光设备 激光束能量密度分布的试验方法

美国材料与试验协会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • ASTM E2246-02 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
  • ASTM E2246-05 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
  • ASTM E2244-02 用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法
  • ASTM E2245-05 用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法
  • ASTM E2245-02 用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法
  • ASTM E2246-11 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
  • ASTM E2245-11 利用光学干涉仪测量反射膜残余应变的标准试验方法
  • ASTM E2244-05 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
  • ASTM E2244-11 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
  • ASTM E2244-11(2018) 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
  • ASTM E2244-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法
  • ASTM E2245-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜残余应变的标准试验方法
  • ASTM E2246-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
  • ASTM E2246-11(2018) 使用光学干涉仪的薄的反射膜的应变梯度测量的标准测试方法
  • ASTM E2245-11(2018) 使用光学干涉仪的薄的反射膜的残余应变测量的标准测试方法
  • ASTM E2539-14(2017) 干涉色素多色测量的标准测试方法

行业标准-邮电通信,关于激光干涉仪的测试方法的标准

美国电气电子工程师学会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

丹麦标准化协会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • DS/EN ISO 11551:2004 光学和光学仪器 激光和激光相关设备 光学激光元件吸收率的测试方法
  • DS/EN ISO 13694:2000 光学和光学仪器 激光和激光相关设备 激光束功率(能量)密度分布的测试方法

GB-REG,关于激光干涉仪的测试方法的标准

RU-GOST R,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • GOST R 8.744-2011 国家测量一致性保证体系.光学和光子学.光学元件和光学系统的干涉仪测量.第3部分:干涉仪试验设备和测量的校准和检定
  • GOST R ISO 13694-2010 光学和光学仪器.激光及激光相关设备.激光束功率(能量)密度分配的测试方法
  • GOST R ISO 11551-2015 光学和光学仪器. 激光和激光相关设备. 光学激光组件光吸收性的试验方法
  • GOST 13005-1967 测量液体和气体浓度的干涉仪.检定方法与工具

国家质检总局,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • GB/T 26829-2011 脉冲激光测距仪测距参数的室内测试方法
  • GB/T 13823.11-1995 振动与冲击传感器的校准方法 激光干涉法低频振动一次校准
  • GB/T 7962.3-2010 无色光学玻璃测试方法 第3部分:光学均匀性 全息干涉法

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • GB/T 38245-2019 光学和光学仪器 激光器和激光相关设备 激光光学元件吸收率测试方法

立陶宛标准局,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • LST EN ISO 11551:2004 光学和光学仪器-激光和激光相关设备-光学激光元件吸收率的测试方法(ISO 11551:2003)
  • LST EN ISO 13694:2000 光学和光学仪器 激光和激光相关设备 激光束功率(能量)密度分布的测试方法(ISO 13694:2000)

AENOR,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • UNE-EN ISO 11551:2004 光学和光学仪器-激光和激光相关设备-光学激光元件吸收率的测试方法(ISO 11551:2003)

KR-KS,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • KS B ISO 16063-11-2023 振动和冲击传感器的校准方法第11部分:激光干涉测量法的一次振动校准
  • KS B ISO 16063-11-2018 振动和冲击传感器校准方法第11部分:激光干涉测量一次振动校准

国家军用标准-国防科工委,关于激光干涉仪的测试方法的标准

SE-SIS,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • SIS SS 64 12 50-1981 建筑物测量.激光仪器.激光的方向和激光表面显示设备.功能及测试

行业标准-兵工民品,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • WJ 2396-1997 固体脉冲激光测距仪最大测程消光比测试方法

行业标准-电子,关于激光干涉仪的测试方法的标准

  • SJ 2758-1987 同型外延层厚度的红外干涉测试方法

激光干涉仪的测试方法激光干涉仪的测量方法激光粒度仪的测试方法便携激光器的测试方法脉冲激光测距仪测距参数的室内测试方法

 

可能用到的仪器设备

 

激光相位多普勒干涉仪LDV,PDI,PDPA,PDA

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北京欧兰科技发展有限公司

 

干涉米氏成像激光粒径测量仪

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北京欧兰科技发展有限公司

 

WIVS-Ⅲ型白光干涉三维轮廓测量仪

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上海纳腾仪器有限公司

 

昊量光电直接激光干涉图形加工器

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上海昊量光电设备有限公司

 

高分辨率激光干涉仪

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上海昊量光电设备有限公司

 

 




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