纳米压痕仪的技术参数
最大加载载荷:400 mN;
载荷分辨率:30 nN;
可实现的最小载荷:1.5 µN;
位移分辨率:0.003 nm;
可实现的最小位移:0.04 nm;
可实现的最大位移:250 µm;
热漂移:<0.05 nm/s(室温条件下);
DMA模式:20 Hz。
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