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纳米压痕仪的技术参数

2022.1.20

  最大加载载荷:400 mN;

  载荷分辨率:30 nN;

  可实现的最小载荷:1.5 µN;

  位移分辨率:0.003 nm;

  可实现的最小位移:0.04 nm;

  可实现的最大位移:250 µm;

  热漂移:<0.05 nm/s(室温条件下);

  DMA模式:20 Hz。

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