GB/T 4060-2007
硅多晶真空区熔基硼检验方法
Polycrystalline silicon.Examination method.Vacuum zone-melting on boron
GB/T 4060-2007 发布历史
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围：0．002×10～100×10。
GB/T 4060-2007由国家质检总局 CN-GB 发布于 2007-09-11，并于 2008-02-01 实施。
GB/T 4060-2007 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法，在国际标准分类中归属于: 77.040.01 金属材料试验综合。
GB/T 4060-2007 发布之时，引用了标准
- GB/T 1551 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法*， 2021-05-21 更新
- GB/T 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法*， 2009-10-30 更新
- GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法*， 2009-10-30 更新
- GB/T 13389 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程*， 2014-12-31 更新
- GB/T 14264 半导体材料术语*， 2009-10-30 更新
* 在 GB/T 4060-2007 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 4060-2007的历代版本如下：
- 1983年12月20日 GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法
- 2007年09月11日 GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
- 2018年09月17日 GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法 由 GB/T 4060-1983 变更而来。
GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法 于 2018-09-17 00:00:00.0 变更为 GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法。
- 标准号
- GB/T 4060-2007
- 发布日期
- 2007年09月11日
- 实施日期
- 2008年02月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 13389 GB/T 14264
- 代替标准
- GB/T 4060-2018
- 被代替标准
- GB/T 4060-1983
- 适用范围
- 本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围：0．002×10
～100×10 。