GB/T 6624-2009
硅抛光片表面质量目测检验方法
Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
GBT6624-2009, GB6624-2009
- 标准号
- GB/T 6624-2009
- 别名
- GBT6624-2009
GB6624-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 6624-2009
- 引用标准
- GB/T 14264
- 被代替标准
- GB/T 6624-1995
- 本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。