GB/T 6624-2009
硅抛光片表面质量目测检验方法
Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
GB/T 6624-2009 发布历史
本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
GB/T 6624-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30，并于 2010-06-01 实施。
GB/T 6624-2009 在中国标准分类中归属于: H80 半金属与半导体材料综合，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 6624-2009 发布之时，引用了标准
- GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 6624-2009的历代版本如下：
- 1995年04月18日 GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法
- 2009年10月30日 GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
- 标准号
- GB/T 6624-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- 国家质检总局
- 引用标准
- GB/T 14264
- 被代替标准
- GB/T 6624-1995
- 适用范围
- 本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。