GB/T 30453-2013由国家质检总局 CN-GB 发布于 2013-12-31,并于 2014-10-01 实施。
GB/T 30453-2013 在中国标准分类中归属于: H80 半金属与半导体材料综合,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。
国内外影响:1.基础雄厚,编撰了全国第一部《硅材料原生缺陷图谱》国家标准,共同创建了世界最大单晶硅生产基地晶龙集团;《金属材料及热处理》、《铸造工艺学》经典教材主编李魁盛教授荣获国家铸造行业终身成就奖(2016年5月);120余人次担任教育部教学指导委员会委员、学会副理事长等学术职务;2.发展迅猛,获批国家杰出青年科学基金、国家重点研发计划等一批国家级科研项目,在Nature、PRL、Adv....
国内外影响:1.基础雄厚,编撰了全国第一部《硅材料原生缺陷图谱》国家标准,共同创建了世界最大单晶硅生产基地晶龙集团;《金属材料及热处理》、《铸造工艺学》经典教材主编李魁盛教授荣获国家铸造行业终身成就奖(2016年5月);120余人次担任教育部教学指导委员会委员、学会副理事长等学术职务;2.发展迅猛,获批国家杰出青年科学基金、国家重点研发计划等一批国家级科研项目,在Nature、PRL、Adv....
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国内外影响:1.基础雄厚,编撰了全国第一部《硅材料原生缺陷图谱》国家标准,共同创建了世界最大单晶硅生产基地晶龙集团;《金属材料及热处理》、《铸造工艺学》等经典教材主编李魁盛教授荣获国家铸造行业终身成就奖;120余人次担任教育部教学指导委员会委员、学会副理事长等学术职务;2.发展迅猛,获批国家杰出青年科学基金、国家重点研发计划等一批国家级重要科研项目,在 Nature、PRL、Adv. Mater....
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