GB/T 30453-2013
硅材料原生缺陷图谱

Metallographs collection for original defects of crystalline silicon

GBT30453-2013, GB30453-2013


GB/T 30453-2013 发布历史

GB/T 30453-2013由国家质检总局 CN-GB 发布于 2013-12-31,并于 2014-10-01 实施。

GB/T 30453-2013 在中国标准分类中归属于: H80 半金属与半导体材料综合,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

GB/T 30453-2013 发布之时,引用了标准

  • GB/T 14264 半导体材料术语
  • GB/T 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
  • GB/T 4058 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

GB/T 30453-2013的历代版本如下:

 

本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。

标准号
GB/T 30453-2013
别名
GBT30453-2013
GB30453-2013
发布
2013年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 30453-2013
 
 
引用标准
GB/T 14264 GB/T 1554 GB/T 4058

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