La présente partie de la CEI 62047 définit la méthode d'essai pour mesurer les coefficients de dilatation thermique linéaire (CLTE) de matériaux de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) solides autonomes minces (métalliques, céramiques, polymères, etc.) dont la longueur est comprise entre 0,1 mm et 1 mm, la largeur entre 10 pico m et 1 mm et l'épaisseur entre 0,1 pico m et 1mm, qui sont les matériaux structurels principaux utilisés pour les MEMS, les micromachines et autres. Cette méthode d'essai peut s'appliquer à la mesure des CLTE dans la gamme de températures allant de la température ambiante jusqu'à 30 % de la température de fusion du matériau.
NF C96-050-11-2014由法国标准化协会 FR-AFNOR 发布于 2014-03-12,并于 2014-03-12 实施。
NF C96-050-11-2014 在中国标准分类中归属于: L40 半导体分立器件综合,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料,31.080.99 其他半导体分立器件。
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