经过对比测试和分析发现,在磷化铁气氛下退火制备的半绝缘磷化铟晶片不仅缺陷少,而且具有良好的均匀性。 为了进一步研究这种退火衬底对相邻外延层的实际影响,研究人员使用分子柬外延技术分别在原生掺铁的和磷化铁气氛退火制备的半绝缘磷化铟衬底上生长了相同的 InAlAs 外延层。测试结果表明后者更有利于生长具有良好结晶质量的外延层。...
“最近我们在硅基磷化铟上生长了激光器,也就是用Ⅲ-Ⅴ族材料做发光的激光器,把光学器件跟硅基衬底集成。对比异质外延生长和离子束剥离与转移两种技术方法,我们发现利用后者制备的器件,阈值电流密度、工作温度目前都达到了国际最高水平。”游天桂说,他们用一个更小的电流就可以让器件发光,器件也可以耐受更高的温度。除了高质量硅基磷化铟异质集成,他们也在研究高导热氧化镓异质集成晶圆。...
在学术领域,科学家们试图找出能替代硅的半导体材料,比如III-V族元素化合物砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)和磷化镓(GaP)等。与硅材料相比,它们具有低能耗、体积小、电子迁移率高,放大效率佳、高频段线性等优势,但到目前这些新贵半导体材料还没有抢夺下硅基芯片的市场。那么制约其发展的最大问题是什么呢?价格!...
作为国内氮化铝镓基深紫外LED的重要研发机构,中国科学院半导体研究所半导体照明研发中心在国家863计划的支持下,在氮化铝镓材料的外延生长和掺杂以及深紫外LED芯片的制备工艺等方面积累了多年研发经验,目前已成功实现发光波长从260纳米到300纳米的深紫外LED芯片系列,并已具备产业化批量生产能力。 ...
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