目前我国光刻机的加工精度是多少？

• 财报

  
  半导体设备龙头2023年业绩预告出炉 新增订单超80亿元

  科创板日报 证券时报

  2024.1.15

  营业收入中微公司
• 科技前沿

  
  2023中国智能制造十大科技进展：活体细胞精准操作······

  宁波市机器人行业协会

  2024.1.12

  智能科技进展
• 2024世界半导体大会暨南京国际半导体博览会

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.09
• 欢迎参加2024年深圳开关和控制继电器制造设备展|官方时间

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.08
• 欢迎参加2024年深圳IC 制造设备展|官方时间

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.08
• 欢迎参加2024年深圳元器件成型设备展|官方时间

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.08
• 欢迎参加2024年深圳电阻电容加工设备展|官方时间

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.08
• 欢迎参加2024年深圳电子生产设备展|官方时间

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.08
• 焦点事件

  
  半导体开年不利 这只股3天跌近30%！后续机会在哪？机构乐观预测

  东方财富网

  2024.1.05

  半导体
• 2024深圳国际分析与检测仪器展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际印制电路板生产设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际光电芯片制造设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际电真空器件及平板显示器生产设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际电真空器件展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际硅片生产设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际光电芯片制造设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际硅片生产设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际二三级管生产设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际晶体震荡器设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际磁性材料及器件设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际开关制造设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际传感器制造设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际开关和控制继电器制造设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际IC 制造设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际元器件成型设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际电阻电容加工设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际线束线缆加工设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳国际电子元件及机电组件生产设备展览会「时间+地点+介绍」

  https://uc.antpedia.com

  2024.1.03
• 2024深圳元器件成型设备展「2024中国大型元器件成型设备博览会」

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  2024.1.03
• 政策法规

  
  2024年关税调整方案公布，涉及多项科学仪器

  财政部

  2023.12.21

  进口出口科学仪器关税
• 2024深圳国际点胶设备展+时间+地点+门票

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024深圳国际光学成像设备展+时间+地点+门票

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024深圳国际分析和测量系统展+时间+地点+门票

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024深圳国际SMT 设备展+时间+地点+门票

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024深圳国际光学图像处理及仪器与设备展+时间+地点+门票

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024深圳国际分析与检测仪器展+时间+地点+门票

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024中国(深圳)国际电阻电容加工设备展【_时间-地点-展位预订】

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024中国(深圳)国际线束线缆加工设备展【_时间-地点-展位预订】

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024中国(深圳)国际电子元件及机电组件生产设备展【_时间-地点-展位预订】

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.18
• 2024中国深圳国际晶体震荡器设备展览会(时间+地点+参展+参观)「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.14
• 2024中国深圳国际磁性材料及器件设备展览会(时间+地点+参展+参观)「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.14
• 2024中国深圳国际检漏仪器展览会(时间+地点+参展+参观)「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.14
• 2024中国深圳国际电子能谱仪展览会(时间+地点+参展+参观)「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.14
• 2024中国深圳国际表面分析仪器展览会(时间+地点+参展+参观)「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.14
• 2024中国深圳国际印制电路板生产设备展览会(时间+地点+参展+参观)「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.14
• 全国官宣/半导体设备展会|2024深圳国际芯片及半导体展览会

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.07
• 全国官宣/欢迎光临2024深圳半导体展、2024中国半导体工业技术展览会

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.07
• 全国官宣/2024深圳半导体展-4月19日在深圳会展中心举办

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.07
• 全国官宣/半导体芯片展|2024深圳国际半导体展览会「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.07
• 全国官宣/深圳半导体展|2024深圳国际半导体设备展览会「官网」

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.07
• 全国官宣/半导体展|2024深圳国际芯片及半导体展览会(官网网站)

  https://uc.antpedia.com

  2023.12.07
• 全国官宣/中国半导体展|2024深圳国际半导体设备展览会「官网」

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  2023.12.07
• 企业风采

  
  荷兰光刻机巨头阿斯麦官宣董事新任命

  阿斯麦官网

  2023.12.01

  荷兰光刻机阿斯麦
• 焦点事件

  
  厂商 100% 满负荷运转，全球半导体光掩膜供不应求

  互联网

  2023.11.30

  芯片荷兰半导体
• 焦点事件

  
  三个月突破634亿大关：中国半导体制造设备进口额飙升90%

  互联网

  2023.11.27

  芯片半导体
• 我国从荷兰进口光刻机同比增长10倍的背后……

  财联社

  2023.11.20

  荷兰光刻机阿斯麦
• 七大芯片材料超全解析来袭，带您进一步了解半导体材料

  互联网

  2023.11.14

  芯片半导体晶圆
• 焦点事件

  
  多家芯片巨头暴跌！美国为何再次对中国升级芯片禁令？

  互联网

  2023.10.18

  芯片人工智能拜登
• 2024第六届SEMI-e深圳国际半导体技术暨应用展览会|2024年半导体展会

  https://uc.antpedia.com

  2023.10.17
• 科技前沿

  
  上海硅酸盐所碳化硅陶瓷增材制造研究获进展

  互联网

  2023.10.17

  硅含量sic陶瓷核反应
• 杨银堂： 40年筑梦“中国芯”

  2023.10.13

  未填写
• 2024中国（深圳）国际整机装联设备及SMT 设备展览会

  https://uc.antpedia.com

  2023.10.07
• 2024中国（深圳）国际光学仪器及设备展览会

  https://uc.antpedia.com

  2023.10.07
• 2024深圳国际电子设备及仪表仪器展览会

  https://uc.antpedia.com

  2023.10.07
• 多学者热评Nobel物理学奖 为啥是3人而不是4人？

  中国科学报微信公众号

  2023.10.03

  nobel激光诺贝尔脉冲物理学奖阿秒
• 中国工程院发布“中国电子信息工程科技十四大挑战（2023）”

  2023.9.25

  未填写
• 焦点事件

  
  限制生效前，中国6-7月芯片制造设备进口激增

  参考消息

  2023.8.29

  半导体中国芯片生产
• 焦点事件

  
  限制生效前，中国6-7月芯片制造设备进口激增

  参考消息

  2023.8.29

  半导体中国设备芯片生产阿斯麦
• 焦点事件

  
  共30人入选，上海青年科技英才公示

  上海科协微信公众号

  2023.8.22
• 光刻机为什么不用x射线

  互联网

  2023.8.07

  x射线
• 焦点事件

  
  不鸣则已、一鸣惊人，国产先进光刻机问世只是时间问题

  互联网

  2023.8.07

  国产光刻机
• 半导体设备常见类型和分类

  互联网综合

  2023.8.02

  半导体
• 日本半导体出口管制今日生效，专家：日方“共输”行径损人不利己

  第一财经

  2023.7.23

  半导体设备
• 我国首台核心部件100%国产　高端晶圆激光切割设备问世

  每日经济

  2023.7.13

  华工科技
• 以体系化力量助力硬科技成果转化

  光明网-《光明日报》

  2023.4.20

  成果转化国家安全产业变革人才体系
• 陈蓉：成为“规则改变者”

  2023.4.14

  未填写
• 预算心中做，材料科学仪器真来到！

  https://uc.antpedia.com

  2023.4.12
• 光刻机原理

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机是干什么用的，工作原理是什么

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机是什么

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机怎么制作

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机工作原理

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机原理是什么

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 手持光刻机如何使用

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 28纳米光刻机如何生产5纳米芯片

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机是干什么用的，工作原理是什么

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机是什么

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机移动精度怎么控制

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机工作原理

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机原理

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机的定位格栅是什么

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 光刻机为什么一定用紫外线

  互联网

  2023.4.10

  光刻机
• 集微咨询发布中国半导体去胶设备白皮书

  互联网

  2023.4.10

  半导体光刻胶集微
• 接近真实皮肤，东大团队研发全属性凝胶电子皮肤

  中国科学报

  2023.3.23

  电子皮肤研发信息感知
• 这对科研伉俪曾靠二手旧设备，不断刷新世界纪录

  中国科学报

  2023.3.22
• 激光干涉仪的主要种类和功能介绍

  互联网

  2023.2.02
• 焦点事件

  
  美国拉拢日、荷围围堵中国半导体产业 中国致电荷兰外长…

  视新闻客户端 环球网 芯智讯 网易 央

  2023.2.01

  美国荷兰半导体
• 美、荷、日管制对华芯片制造设备出口 包括但不限于光刻

  互联网

  2023.1.29

  芯片光刻
• ASML示警：过度出口管制或抬高芯片成本

  互联网

  2023.1.28

  芯片asml
• 华科大成果入选“光学领域十大社会影响力事件”

  中国科学报

  2023.1.11

  光学领域
• 激光干涉仪的分类及功能介绍

  互联网

  2023.1.11
• 2022中国光学领域十大社会影响力事件发布

  中国科学报微信公号

  2023.1.10

  光学
• 焦点事件

  
  白俄罗斯：导弹已准备就绪！芯片巨头逆市扩产

  券商中国

  2022.12.27

  芯片白俄罗斯
• 这一年，科技创新不断塑造新优势

  科技日报

  2022.12.19

  科技创新
• 这一年，科技创新不断塑造新优势

  科技日报

  2022.12.19

  科技创新年终盘点
• 北京朝阳科学家会客厅举办先锋对话活动

  中国科学报

  2022.12.06

  北京朝阳
• 首条量子芯片生产线有了“火眼金睛”

  2022.11.30

  量子计算
• 科技前沿

  
  华中大团队成功研发我国首款计算光刻EDA软件

  华中科技大学微信公众号

  2022.11.29

  芯片
• 【探秘】华南展激光创新技术及智能检测展示区有哪些亮点?

  

  华南先进激光及加工应用技术展览会组委会

  2022.11.04
• 招标采购

  
  预算8535万元！中国药科大学采购这26类生命科学仪器

  分析测试百科网

  2022.10.31

  生命科学药科大学
• 招标采购

  
  预算8535万元！中国药科大学采购这26项生命科学仪器

  分析测试百科网

  2022.10.31

  药科大学
• 光刻机巨头阿斯麦：美限制芯片出口中国对公司影响有限

  环球时报

  2022.10.21

  半导体asml
• 21年来首次！佳能扩产光刻机设备！

  互联网

  2022.10.10

  佳能光刻机
• 焦点事件

  
  这个重磅政策定了！未来3年国家决心发展这20种传感器！

  互联网

  2022.8.27

  传感器政策
• 集成电路关键技术迎来黄金发展期

  中国科学报

  2022.8.25

  电路
• 双频激光干涉仪原理

  互联网

  2022.8.24
• 双频激光干涉仪原理

  互联网

  2022.8.24
• 面临海外供应链安险 国产半导体向“专”而行 “精”益求精

  互联网

  2022.8.22

  半导体
• 政策法规

  
  江苏：到2025年，建设10个仪器仪表产业园，培育100家企业

  江苏省人民政府

  2022.8.03

  仪器仪表产业园产业聚集
• “悬榜”与“揭榜”良性互动 谁能干就让谁干！

  光明日报

  2022.7.27

  成果人才揭榜挂帅
• 招标采购

  
  151万！广西师范大学凝聚态物理科研设备采购项目发布！

  中国政府采购网

  2022.7.11

  气相色谱招标采购凝聚态物理
• 三星宣布3纳米工艺落地生产 竞争力几何？

  互联网

  2022.7.01

  纳米工艺三星
• 市场商机

  
  800万！清华大学双面对准光刻机采购项目公开招标公告

  千里马

  2022.6.15

  招标采购清华光刻机
• 招标采购

  
  仪器设备预算超3500万元！复旦大学公开8月政府采购意向

  分析测试百科网

  2022.4.21

  复旦大学政府采购意向
• 单车易共享 而科研仪器却为何共享难？

  

  四川在线 川观新闻

  2022.3.14

  仪器仪器共享科技投入光刻机
• 我国高端制造业发展亟待突破核心瓶颈

  中国科学报

  2022.3.01

  制造业
• 中电科二所在碳化硅激光剥离技术方面取得进展

  中国科学报

  2022.2.28

  碳化硅
• 焦点事件

  
  俄乌冲突后，芯片遭殃？

  腾讯网自媒体

  2022.2.27

  芯片俄乌冲突氖
• 焦点事件

  
  90%靠进口，俄罗斯芯片不担心卡脖子？

  财事

  2022.2.25

  进口芯片俄罗斯光刻机卡脖子
• 工程院发布我国电子信息科技发展十三大挑战

  中国科学报

  2022.2.16
• 2022年新挑战——光刻机、网络安全......

  中国科学报

  2022.2.15
• 我国传感器“卡脖子”形势下该如何逆袭

  互联网

  2022.1.28

  传感器形势卡脖子
• 光刻机是什么东西

  互联网

  2022.1.20

  光刻机
• 光刻机是什么

  互联网

  2022.1.20

  光刻机
• 关键科技工厂火灾加剧全球电脑芯片短缺

  中国科学报

  2022.1.06
• 国产EDA觉醒时代：从港中文走出来的ICCAD竞赛冠军

  AI科技评论

  2021.12.30

  AIai
• 焦点事件

  
  我国芯片行业要多久可以赶上美国？

  远方青木

  2021.12.28

  芯片半导体
• 新型光刻机加紧研制，未来芯片技术或将迎来变革

  易有料

  2021.12.22

  芯片光刻机
• 光刻机的曝光度

  互联网

  2021.12.06

  光刻机
• 什么是光刻机

  互联网

  2021.12.06

  光刻机
• 这些大学，贡献近5年“最强”科技成果！

  青塔网

  2021.11.10

  未填写
• 焦点事件

  
  光刻机龙头阿斯麦举行投资者日 芯片业或迎来新转折？

  和讯网

  2021.9.30

  芯片光刻机阿麦斯
• 焦点事件

  
  基因测序设备第一股来了！华大智造科创板IPO过会

  基石资本

  2021.9.03

  治愈癌症
• 投影式光刻机简介

  网络

  2021.9.01
• 高精度掩膜对准光刻机

  网络

  2021.9.01
• 极紫外线光刻机和简介和功能

  网络

  2021.9.01
• 光刻机投影式曝光分类

  网络

  2021.9.01
• 光刻机的种类

  网络

  2021.9.01
• 光刻机的紫外光源

  网络

  2021.9.01
• 光刻机的对准系统

  网络

  2021.9.01
• 光刻机的性能指标

  网络

  2021.9.01
• 光刻机的分类

  网络

  2021.9.01
• 光刻机的概述

  网络

  2021.9.01
• 全自动匀胶显影系统简介

  网络

  2021.7.26
• 焦点事件

  
  中国科技进步要靠外国科学仪器！？

  乌鸦校尉

  2021.7.19

  科学仪器科技进步
• 浅析卡脖子的微球技术究竟卡在哪里？

  互联网

  2021.6.23

  微球技术
• 汞灯的光谱

  互联网

  2021.6.07

  汞灯
• 减震台的适用领域和工作原理

  互联网

  2021.5.20

  减震台
• 企业风采

  
  张育薪博士专访：显微创新助力科技 蔡司+2025战略新蓝图

  分析测试百科网

  2021.4.26

  细胞生物学蔡司显微成像2021张育薪
• 光刻机的三大种类

  网络

  2021.4.17
• 光刻机的性能指标

  网络

  2021.4.17
• 光刻机各个结构的作用

  网络

  2021.4.17
• 涂胶显影设备的前景

  网络

  2021.4.17
• 细说接触式光刻机的使用原理及性能指标

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 光刻机工作原理和组成

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 光刻机冷却循环水装置常见故障知识说明

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 光刻机冷却循环装置常见系统故障

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 接触式光刻机在涂胶工艺上有哪些特殊之处？

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 光刻机水冷机冷水机安装位置考虑因素有哪些

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 光刻机水冷机组定时保养知识须知

  丁香通

  2021.4.16

  光刻机
• 光刻机的简介和分类

  网络

  2021.4.13
• 光刻机有哪些品牌？

  网络

  2021.4.13
• 蔡司集团2019/2020年度财报：收入62.97亿净利润6.16亿欧元

  

  分析测试百科网

  2021.3.17

  财报蔡司zeiss
• 清华和镭测共同开发双折射双频激光干涉仪实现批量生产

  中国科学报

  2021.3.04

  激光干涉仪双频双折射
• 清华大学历经10年，光刻机领域《自然》发文

  科技日报

  2021.2.26

  清华大学光刻机
• 项目成果

  
  Nature：高分辨X射线发光扩展成像机制获解析

  中国科学报

  2021.2.19

  x射线高分辨扩展成像
• 企业风采

  
  聚光科技以“加速度”答卷入选2020中国创新榜样榜单

  互联网综合

  2021.2.09

  聚光科技中国创新
• 焦点事件

  
  惠民生，促经济！2021年这些分析领域关税发生变革

  互联网综合

  2020.12.24

  质谱显微镜调整测量仪关税2021
• 盘点“卡脖子”最新目录：中国禁止出口的35项关键技术

  

  科奖在线

  2020.12.04

  发展中国技术卡脖子
• 一文读懂半导体制程技术进步的“燃料”——光刻胶

  互联网

  2020.11.30
• 单面/双面掩模对准光刻机的相关知识

  互联网

  2020.11.02
• 漫谈半导体工艺节点（一）

  互联网

  2020.10.26
• 5nm是物理极限 芯片发展将就此结束？（二）

  互联网

  2020.10.19
• 多个传感器间相互位置关系校准方法

  互联网

  2020.10.19
• 备受看好的氧化镓材料是什么来头？ （一）

  互联网

  2020.10.12

  氧化镓材料
• 让摩尔定律一再放缓 晶圆厂的cycle time是什么？（二）

  互联网

  2020.10.12
• 让摩尔定律一再放缓 晶圆厂的cycle time是什么？（二）

  互联网

  2020.10.12
• 让摩尔定律一再放缓 晶圆厂的cycle time是什么？（一）

  互联网

  2020.10.12
• 一篇文章说清半导体制程发展史（四）

  互联网

  2020.10.12
• 一篇文章说清半导体制程发展史（二）

  互联网

  2020.10.12

  半导体制程
• 这些半导体技术中国尚未掌握（一）

  互联网

  2020.10.05
• 芯片研发技术难点解析

  互联网

  2020.10.05

  芯片
• 光刻垄断难解，技术难在哪？

  互联网

  2020.9.29

  光刻
• 卡住中国脖子的 35 项技术最全盘点（一）

  互联网

  2020.9.29
• 天天都在说的芯片，到底是什么？

  互联网

  2020.9.28

  芯片
• Mini LED & Micro LED差异解析（三）

  互联网

  2020.9.28
• 超声扫描显微镜的相关特色到底在哪里

  丁香通

  2020.9.01

  显微镜
• 焦点事件

  
  赛默飞在这次排名中排56名？这个行业或成当代最惨！

  科学网

  2020.8.25

  赛默飞仪器行业
• 焦点事件

  
  谭久彬院士：解决了核心问题，我国装备自然就会高大上

  中国仪器仪表行业学会

  2020.7.30

  测量装备
• 志愿填报专业统计显示，国内基础学科研究正遭冷落？

  瞭望智库

  2020.7.15
• 焦点事件

  
  卡脖子的35个关键领域制造业

  先进制造业

  2020.4.20

  领域制造业
• 焦点事件

  
  大硅片管制！瓦森纳协议限制14nm工艺硅片出口中国

  军事头条速递

  2020.4.14

  瓦森纳工艺硅片
• 折叠式过滤器特点

  互联网

  2020.2.27

  折叠式过滤器特点
• 市场商机

  
  虚弱的分析仪器 中国制造业技术依赖的重灾区！

  知识自动化

  2019.12.09

  仪器仪表制造业分析实验
• 焦点事件

  
  201项！2019国家科学技术学术著作出版基金资助项目公示

  科技部

  2019.11.01

  基金资助
• 201项！2019年度国家科学技术学术著作出版基金资助项目

  科技部

  2019.11.01

  科学技术学术著作出版基金
• 综述

  
  一文看懂主流AR眼镜的核心显示技术光波导

  中国仪器仪表行业协会

  2019.7.17

  光波导ar眼镜digilens
• 焦点事件

  
  中国严重依赖进口的20项产品大盘点，TEM SEQ入选

  信息化协同创新专委会

  2019.3.11

  进口基因测序透射电镜依赖
• 中微5纳米等离子体刻蚀机又被网媒“戴高帽”

  科技日报

  2019.2.13

  刻蚀机
• 光子人工智能芯片助“中国芯”换道超车

  新京报

  2019.1.07

  人工智能光子芯片
• 这一年，国产技术不断突破

  科技日报

  2018.12.29

  突破国产技术
• 这一年，国产技术不断突破

  科技日报

  2018.12.28

  突破国产技术
• 这一年，我们为科技“吵过的架”真不少

  科技日报

  2018.12.28

  科技吵过的架
• 宽刀雕细活 我国造出新式光刻机

  科技日报

  2018.11.30

  新式光刻机
• 光电所深紫外光刻机镀膜技术研究取得新进展

  中国科学院

  2018.10.26

  紫外镀膜光刻机
• 全球化下的中国芯：板凳须坐十年冷

  中国科学报

  2018.8.23

  中国芯
• 透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么？

  互联网

  2018.7.20

  电镜
• Transmission Electron Microscope (TEM)

  互联网

  2018.6.30

  显微镜
• 中国半导体的困境，国人的“芯”痛

  芯电易官网

  2018.5.09

  芯片半导体
• 焦点事件

  
  那些年，地铁和北大的精密仪器撕逼的那些事

  央视网

  2018.4.26

  北大精密仪器地铁振动
• 美国人撤梯子 中国“芯”如何化危为机

  中国青年报

  2018.4.24

  芯片国产中兴
• 透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么？

  互联网

  2018.3.27

  透射电镜
• 透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么？

  知乎

  2018.3.15

  透射电镜
• 一文盘点当前微纳加工技术

  材料人

  2018.2.28

  微纳加工
• 光刻技术首次绘出银纳米结构

  科技日报

  2017.8.07

  银纳米
• 项目成果

  
  光电所研制出实用深紫外光刻机

  中国科学院

  2017.7.27

  深紫外光刻机
• “极紫外光刻关键技术研究”通过验收

  中国科学报

  2017.7.10

  极紫外光刻
• 关于白酒真假鉴别，我们只相信科学

  壶中岁月

  2017.5.08

  气相色谱质谱法鉴定方法真假鉴别
• 中紫外直接光刻设备研制成功

  光电技术研究所

  2017.4.13

  中紫外
• 紫外纳米压印光刻机提升我国微纳级制造业能力

  2016.4.07

  紫外纳米压印光刻机
• 新型光刻机提升微纳实用制造水平

  2016.3.24

  光刻机
• 焦点事件

  
  光电所在光学薄膜厚度均匀性控制技术方面取得进展

  2016.3.04

  镀膜薄膜厚度
• ElliTOP量拓：椭偏测量的开拓者

  

  分析测试百科网

  2015.2.10

  椭偏仪量拓孟永宏
• “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”工作会在京召开

  2014.3.25

  集成电路专项
• 合肥研究院承担的国家科技重大专项课题通过验收

  2014.3.20

  光源技术电源
• 焦点事件

  
  创新驱动中国 新一轮科技体制改革向纵深迈进

  2013.11.15

  技术创新发展战略
• 中科院金属研究所仪器采购8台仪器设备

  2013.2.08

  中科院采购仪器
• 科技界委员：不能制造高精尖仪器成不了发达国家

  2012.3.08

  科研仪器
• 两会特别关注：科学仪器是第一生产力

  2012.3.08

  科学仪器光学仪器
• 《电子专用设备仪器十二五规划》发布

  2012.2.24

  自主创新自动化技术创新半导体
• 工信部国家科学技术奖励推荐项目公示

  2012.2.08

  产业化关键技术技术发明奖
• 干福熹：突破衍射极限的研究待加强

  2011.11.16

  干福熹光学衍射
• 我国纳米光刻技术研究取得突破

  2011.5.17

  纳米光学光刻
• 中科院微电子所过亿元仪器设备采购大单揭晓

  2010.11.18

  仪器设备微电子采购单
• 芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁优秀新产品二等奖

  2010.11.04

  集成电路集束型匀胶显影