GB/T 6618-2009
硅片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
GB/T 6618-2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 6618-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- 国家质检总局
- 引用标准
- GB/T 12964 GB/T 12965 GB/T 14139 GB/T 2828.1
- 被代替标准
- GB/T 6618-1995
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片和外延片(简称硅片)厚度和总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。 本标准适用于符合GB／T 12964、GB／T 12965、GB／T 14139规定的尺寸的硅片的厚度和总厚度变化的测量。在测试仪器允许的情况下，本标准也可用于其他规格硅片的厚度和总厚度变化的测量。
GB/T 6618-2009相似标准
推荐
国标委批准发布123项国家标准
-06-0182GB/T 30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法2015-02-0183GB/T 30867-2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法2015-02-0184GB/T 30868-2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法2015-02-0185GB/T 30869-2014太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法2015-02-0186GB/T 30870-...
质检总局和国标委批准发布123项国家标准
-2014碳化硅单晶片直径测试方法2015-02-0183GB/T 30867-2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法2015-02-0184GB/T 30868-2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法2015-02-0185GB/T 30869-2014太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法2015-02-0186GB/T 30870-2014特种致密定形耐火制品分类2015...
薄膜厚度测量仪和纸张测厚仪型号
一、测厚仪概述测厚仪采用机械接触式测量方式，严格符合标准要求，有效保证了测试的规范性和准确性。专业适用于量程范围内的塑料薄膜、薄片、隔膜、纸张、箔片、硅片等各种材料的厚度测量。 ...
红外光谱法在硅中氧碳含量测定上的应用
· 实验条件仪器及附件： FTIR-650 傅里叶变换红外光谱仪； 氧碳测试附件 硅中氧碳测试支架； 测试条件： 分辨率： 2cm -1 扫描次数： 64次 检测器： DTGS 其他： 千分尺:精确至0.01mm 氢氟酸（HF）：分析纯（A.R） · 样品的制备按GB/T 1558-2009和GB/T 1557-2006要求选取合适的参比硅片和样品硅片...