YS/T 1167-2016
硅单晶腐蚀片

Monocrystalline silicon etched wafers

YST1167-2016, YS1167-2016

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标准号

YS/T 1167-2016

别名

YST1167-2016
YS1167-2016

发布

2016年

发布单位

行业标准-有色金属

当前最新

YS/T 1167-2016

 

 

引用标准

GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 12965 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 1550 GB/T 1555 GB/T 20503 GB/T 26067 GB/T 2828.1 GB/T 29505 GB/T 30453 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6620 YS/T 26 YS/T 28

本标准规定了硅单晶腐蚀片的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括区熔中子嬗变和气相掺杂)制备的硅单晶研磨片经化学腐蚀液去除表面损伤层后制备的酸腐蚀片和碱腐蚀片(以下简称腐蚀片)。产品主要用于制作晶体管、整流管、特大功率晶闸管、光电器件等半导体元器件或进一步加工...

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