表面元素

本专题涉及表面元素的标准有38条。

国际标准分类中,表面元素涉及到分析化学、光学和光学测量、信息技术应用、集成电路、微电子学、建筑物的防护。

在中国标准分类中,表面元素涉及到基础标准与通用方法、核材料、核燃料及其分析试验方法、物性分析仪器、数据媒体、半金属及半导体材料分析方法、半导体分立器件综合、化学。


国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于表面元素的标准

  • GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
  • GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染

国家质检总局,关于表面元素的标准

  • GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
  • GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准
  • GB/T 29732-2013 表面化学分析 中等分辨率俄歇电子谱仪 元素分析用能量标校准
  • GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜.元素深度分布的定量测定.辉光放电原子发射光谱法

国防科工局,关于表面元素的标准

  • EJ/T 20150.30-2018 压水堆棒束型燃料组件辐照后检查 第30部分:燃料包壳管表面沉积物中Fe、Ni、Cr、Mn、Si、Cu元素含量测量 原子发射光谱法

英国标准学会,关于表面元素的标准

  • BS ISO 17973-2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • BS ISO 17973-2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • BS ISO 14706-2014 表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定
  • BS ISO 14706-2014 表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定
  • BS ISO 17331-2004+A1-2010 表面化学分析.从硅片工作标准物质表面采集元素的化学方法及其全反射X射线荧光光谱(TXRF)法的测定
  • BS ISO 17973-2003 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • BS ISO 17974-2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
  • BS ISO 14706-2000 表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定

国际标准化组织,关于表面元素的标准

  • ISO 17973-2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • ISO 17331 AMD 1-2010 表面化学分析.硅晶片加工标准物质表面元素收集用化学方法和及其光分析仪(TXRF)光谱学测定.修改件1
  • ISO 17331-2004 表面化学分析.从硅片工作基准材料表面采集元素的化学方法及其全反射X射线荧光光谱法的测定
  • ISO 17973-2002 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • ISO 17974-2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准

欧洲标准化委员会,关于表面元素的标准

  • EN 1545-2-2015 识别卡系统.表面传输应用程序.第2部分:运输和旅行付款相关的数据元素和代码列表
  • EN 1545-1-2015 识别卡系统.表面传输应用程序.第1部分:基本数据类型,通用代码列表和一般的数据元素
  • EN ISO 13788-2012 湿热性能的建筑组件和元素.内表面温度,以避免临界表面湿度和间质冷凝.计算方法

德国标准化学会,关于表面元素的标准

  • DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

韩国标准,关于表面元素的标准

  • KS D ISO 17973-2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • KS D ISO 17974-2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
  • KS D ISO 17974-2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准

日本工业标准调查会,关于表面元素的标准

  • JIS K0166-2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
  • JIS K0165-2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • JIS K0166-2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
  • JIS K0165-2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
  • JIS K0160-2009 表面化学分析.从硅片加工基准材料的表面上收集元素和化学方法及其通过总反射X射线荧光(TXRF)分光光度法的测定

法国标准化协会,关于表面元素的标准

  • NF X21-067-2009 表面化学分析.高分辨率俄歇(Auger)电子分光计.元素及化学物质状态分析用能量标度的校准
  • NF X21-054-2006 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准

,关于表面元素的标准

澳大利亚标准协会,关于表面元素的标准

  • AS ISO 17974-2006 表面化学分析.高分辨率俄歇电子分光计法.元素及化学物质状态分析用能量标度校准
  • AS ISO 17974-2006 表面化学分析.高分辨率俄歇电子分光计法.元素及化学物质状态分析用能量标度校准

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可能用到的仪器设备

 

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