四探针方阻测试

本专题涉及四探针方阻测试的标准有24条。

国际标准分类中,四探针方阻测试涉及到电学、磁学、电和磁的测量、半导体分立器件、半导体材料、金属材料试验、复合增强材料、导体材料、塑料、有色金属、陶瓷、农业和林业。

在中国标准分类中,四探针方阻测试涉及到、电磁计量、无线电计量、半金属及半导体材料分析方法、金属物理性能试验方法、合成树脂、塑料基础标准与通用方法、基础标准与通用方法、元素半导体材料、电阻器、特种陶瓷。


韩国科技标准局,关于四探针方阻测试的标准

中国团体标准,关于四探针方阻测试的标准

国家计量检定规程,关于四探针方阻测试的标准

国家质检总局,关于四探针方阻测试的标准

日本工业标准调查会,关于四探针方阻测试的标准

  • JIS H 0612:1975 硅单晶片电阻率的测定方法.四探针法
  • JIS K 7194:1994 用四点探针排列法测定传导塑料电阻率的测试方法
  • JIS H 0602:1995 用四点探针法对硅晶体和硅片电阻率的测试方法
  • JIS R 1637:1998 用四点探针排列法测定传导精细陶瓷薄膜电阻率的试验方法

河北省标准,关于四探针方阻测试的标准

行业标准-电子,关于四探针方阻测试的标准

KR-KS,关于四探针方阻测试的标准

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于四探针方阻测试的标准

  • GB/T 1551-2021 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

RU-GOST R,关于四探针方阻测试的标准

美国材料与试验协会,关于四探针方阻测试的标准

  • ASTM F390-11 用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法

行业标准-有色金属,关于四探针方阻测试的标准

江苏省标准,关于四探针方阻测试的标准

  • DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

 

可能用到的仪器设备

 

Filmetrics R54 电阻率测量仪

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优尼康科技有限公司

 

R50四探针电阻率测量仪

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优尼康科技有限公司

 

瑞柯微 手持式四探针方阻测试仪

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宁波瑞柯微智能科技有限公司

 

双电四探针方阻电阻率测试仪

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宁波瑞柯微智能科技有限公司

 

四探针电阻率/方阻测试仪

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宁波瑞柯微智能科技有限公司

 

 




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