GB/T 1554-1995
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
哪些标准引用了GB/T 1554-1995
GB/T 29506-2013300mm 硅单晶抛光片GB/T 4059-2007硅多晶气氛区熔基磷检验方法GB/T 4060-2007硅多晶真空区熔基硼检验方法GB/T 26065-2010硅单晶抛光试验片规范GB/T 25076-2010太阳电池用硅单晶GB/T 12965-2005硅单晶切割片和研磨片GB/T 26069-2010硅退火片规范GB/T 4058-2009硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法GB/T 30453-2013硅材料原生缺陷图谱GB/T 29504-2013300mm 硅单晶GB/T 29508-2013300mm 硅单晶切割片和磨削片GB/T 31092-2014蓝宝石单晶晶锭YS/T 985-2014硅抛光回收片SJ/T 11396-2009氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片
- 标准号
- GB/T 1554-1995
- 发布日期
- 1995年04月18日
- 实施日期
- 1995年12月01日
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H26
- 国际标准分类号
- 77.040.30
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 1554-2009
- 适用范围
- 本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。 本标准适用于晶向为<111>或<100>、电阻率为10-3～104Ω·cm、位错密度在0～105cm-2之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。