GB/T 1555-1997
半导体单晶晶向测定方法

Test methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

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标准号
GB/T 1555-1997
发布日期
1997年12月22日
实施日期
1998年08月01日
废止日期
2010-06-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 1555-2009
适用范围
本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的晶体的表面取向。 本标准包括两种试验方法： 方法A X射线衍射定向法。该方法可用于所有半导体单晶的定向。 方法B 光图定向法。该方法目前用于单一元素半导体单晶的定向。

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