GB/T 29504-2013
300mm 硅单晶
300 mm monocrystalline silicon
GBT29504-2013, GB29504-2013
GB/T 29504-2013 发布历史
GB/T 29504-2013由国家质检总局 CN-GB 发布于 2013-05-09，并于 2014-02-01 实施。
GB/T 29504-2013 在中国标准分类中归属于: H80 半金属与半导体材料综合，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 29504-2013 。
GB/T 29504-2013 发布之时，引用了标准
- GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法
- GB/T 14140 硅片直径测量方法
- GB/T 14264 半导体材料术语
- GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法*， 2018-12-28 更新
- GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法
- GB/T 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
- GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法*， 2023-08-06 更新
- GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法*， 2018-09-17 更新
- GB/T 1558 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法*， 2023-12-28 更新
- YS/T 679 非本征半导体中少数载流子扩散长度的测试 表面光电压法*， 2018-10-22 更新
* 在 GB/T 29504-2013 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 29504-2013的历代版本如下：
- 2013年 GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶
本标准规定了直径300 mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 µm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
- 标准号
- GB/T 29504-2013
- 别名
- GBT29504-2013
GB29504-2013 - 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29504-2013
- 引用标准
- GB/T 11073-2007 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1551-2009 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 YS/T 679