BS EN 62047-11-2013
半导体器件. 微型机电装置. 微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
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- 标准号
- BS EN 62047-11-2013
- 发布日期
- 2013年10月31日
- 实施日期
- 2013年10月31日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- L40
- 国际标准分类号
- 31.080.01;31.220.01
- 发布单位
- GB-BSI
BS EN 62047-11-2013系列标准
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