四探针测电阻原理

本专题涉及四探针测电阻原理的标准有25条。

国际标准分类中,四探针测电阻原理涉及到金属材料试验、有色金属、复合增强材料、半导体材料、电学、磁学、电和磁的测量、半导体分立器件、导体材料、塑料、陶瓷、农业和林业、电子显示器件。

在中国标准分类中,四探针测电阻原理涉及到电磁计量、无线电计量、金属物理性能试验方法、半金属及半导体材料分析方法、、基础标准与通用方法、合成树脂、塑料基础标准与通用方法、元素半导体材料、电阻器、半金属与半导体材料综合、特种陶瓷。


国家计量检定规程,关于四探针测电阻原理的标准

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于四探针测电阻原理的标准

  • GB/T 1551-2021 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

国家质检总局,关于四探针测电阻原理的标准

  • GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
  • GB/T 26074-2010 锗单晶电阻率直流四探针测量方法
  • GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法

RU-GOST R,关于四探针测电阻原理的标准

日本工业标准调查会,关于四探针测电阻原理的标准

  • JIS H 0612:1975 硅单晶片电阻率的测定方法.四探针法
  • JIS K 7194:1994 用四点探针排列法测定传导塑料电阻率的测试方法
  • JIS H 0602:1995 用四点探针法对硅晶体和硅片电阻率的测试方法
  • JIS R 1637:1998 用四点探针排列法测定传导精细陶瓷薄膜电阻率的试验方法

河北省标准,关于四探针测电阻原理的标准

  • DB13/T 5255-2020 石墨烯导电油墨方阻的测定 四探针法
  • DB13/T 5026.3-2019 石墨烯导电浆料物理性质的测定方法 第3部分:浆料极片电阻率的测定 四探针法

韩国科技标准局,关于四探针测电阻原理的标准

行业标准-电子,关于四探针测电阻原理的标准

中国团体标准,关于四探针测电阻原理的标准

德国标准化学会,关于四探针测电阻原理的标准

  • DIN 50431:1988 半导体材料的试验.用探针直线排列的四探针/直流法测量单晶硅或锗单晶体的电阻率
  • DIN 50435:1988 半导体材料试验:采用四探针/直流法测量硅片和锗片电阻率的径向变化

美国材料与试验协会,关于四探针测电阻原理的标准

  • ASTM F390-11 用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法
  • ASTM F1711-96(2016) 采用四点探针法测量平板显示器制造用薄膜导体的薄层电阻的标准实施规程

江苏省标准,关于四探针测电阻原理的标准

  • DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

 

可能用到的仪器设备

 

瑞柯微 FT-351高温四探针电阻率测试系统

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瑞柯微 材料低电阻及电阻率测试仪

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瑞柯微 FT-300TZ两探针电阻率测试仪

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瑞柯微 FT-7200A-300KG自动四探针粉末电阻率测试仪

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