GB/T 29506-2013
300mm 硅单晶抛光片
300 mm polished monocrystalline silicon wafers
GBT29506-2013, GB29506-2013
说明：
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- 标准号
- GB/T 29506-2013
- 别名
- GBT29506-2013
GB29506-2013 - 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29506-2013
- 引用标准
- GB/T 11073 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 19921 GB/T 19922 GB/T 24578 GB/T 26067 GB/T 2828.1 GB/T 29504 GB/T 29507 GB/T 29508 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6624 SEMI MF 1390 YS/T 26 YS/T 679
- 适用范围
- 本标准规定了直径300 mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。