IEC 62047-11-2013
半导体器件.微型机电装置.第11部分:微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

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标准号
IEC 62047-11-2013
发布日期
2013年07月
实施日期
废止日期
无
中国标准分类号
L40
国际标准分类号
31.080.01;31.080.99;31.220.01
发布单位
IX-IEC
被代替标准
IEC 47F/154/FDIS-2013

IEC 62047-11-2013系列标准

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