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半导体键合机

本专题涉及半导体键合机的标准有31条。

国际标准分类中,半导体键合机涉及到半导体分立器件、有色金属产品、半导体材料、电子元器件组件、电线和电缆、集成电路、微电子学、卷轴、线轴。

在中国标准分类中,半导体键合机涉及到微电路综合、贵金属及其合金、轻金属及其合金、、半金属、电子技术专用材料、半导体分立器件综合、标准化、质量管理。


国家质检总局,关于半导体键合机的标准

行业标准-有色金属,关于半导体键合机的标准

中国团体标准,关于半导体键合机的标准

工业和信息化部,关于半导体键合机的标准

美国材料与试验协会,关于半导体键合机的标准

行业标准-电子,关于半导体键合机的标准

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于半导体键合机的标准

  • GB/T 4937.22-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第22部分:键合强度

德国标准化学会,关于半导体键合机的标准

ES-UNE,关于半导体键合机的标准

  • UNE-EN 62047-9:2011 半导体器件 微机电器件 第9部分:MEMS 晶圆间键合强度测量

英国标准学会,关于半导体键合机的标准

  • BS EN 62047-9:2011(2012) 半导体器件 — 微机电器件 第9部分:MEMS 晶圆间键合强度测量
  • BS 3934-5:1997 半导体器件的机械标准化 适用于集成电路卷带自动键合(TAB)的建议

GSO,关于半导体键合机的标准

SCC,关于半导体键合机的标准

丹麦标准化协会,关于半导体键合机的标准

  • DS/EN 62047-9:2011 半导体设备 微机电设备 第9部分:MEMS 的晶圆间键合强度测量

法国标准化协会,关于半导体键合机的标准

  • NF EN 62047-9:2012 半导体器件 - 微机电器件 - 第 9 部分:MEMS 两个晶圆的键合电阻测量

立陶宛标准局,关于半导体键合机的标准

  • LST EN 62047-9-2011 半导体器件 微机电器件 第9部分:MEMS 晶圆间键合强度测量(IEC 62047-9:2011)




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