This part of IEC 62047 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.
IEC 62047-1-2016由国际电工委员会 IX-IEC 发布于 2016-01。
IEC 62047-1-2016 在中国标准分类中归属于: L40 半导体分立器件综合,在国际标准分类中归属于: 01.040.31 电子学 (词汇),31.080.01 半导体器分立件综合,31.080.99 其他半导体分立器件,31.220.01 机电元件综合。
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