电感耦合等离子体发射光谱法和经典发射光谱法的比较
分析方法的性能，可以从它的检出限、精密度、准确度、分析校准曲线的线性范围和多元素测定能力来评价。
(1)检出限
ICP-AES的仪器检出限一般为0.1～100ng/mL，若换算为固体试样则为0.01～10μg/g(当溶质浓度为10mg/mL 时)，这与经典光谱法相近，但对于难熔元素和非金属元素，ICP-AES比经典光谱法具有较好的检出限。
(2)精密度
ICP-AES的精密度，当分析物浓度高于检出限100倍时，RSD≤1%，优于经典电弧和火花光谱法。
(3)准确度
ICP-AES最主要的优点之一就是具有强抗干扰能力，因此在很大程度上克服了经典光谱分析中存在的严重的基体效应，一般可不用内标法或加入添加剂。在多数情况下，总的相对误差不大于l0%。
(4)动态线性范围
在电弧法中，包围着弧焰四周的是温度较低的原子蒸气云层，当弧焰中心发射出的辐射通过这一段路程时，部分被蒸气云层中温度较低的同类原子所吸收，导致校准曲线变弯。ICP光源中，由于中心通道的存在，自吸现象不严重，所以其线性范围较宽，可以用一条校准曲线分析较宽浓度范围的试样。
(5)同时多元素测定能力
同时多元素分析能力是发射光谱法的共同特点，由于经典光谱法中试样组成影响严重，欲对试样中多种成分进行同时定量分析时，参比试样匹配、内标元素和光谱缓冲剂的选择都会遇到困难。同时，由于分馏效应和预燃效应造成谱线强度时间分布曲线的变化，无法进行低检出限顺序多元素分析。ICP光谱法由于具有低干扰和时间分布的高度稳定性，以及宽的线性范围，因而可以方便地进行同时多元素测定。
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