电感耦合高频等离子体(ICP)
电感耦合高频等离子体(ICP)是本世纪60年代提出,70年代获得迅速发展的一种新型的激发光源。
等离子体是一种电离度大于0.1%的电离气体,由电子、离子、原子和分子所组成,其正负电荷密度几乎相等。整体呈现中性。
通常,它是由高频发生器、等离子炬管和工作气体等三部分组成。
高频发生器的作用是产生高频磁场以供给等离子体能量。感应圈一般是以圆形或方形铜管绕成的2~5匝水冷线圈。
等离子矩管由三层同心石英管组成。外层石英管气流Ar气从切线方向引入,并螺旋上升,其作用有:第一,将等离子体吹离外层石英管的内壁,以避免它烧毁石英管;第二,是利用离心作用,在炬管中心产生低气压通道,以利于进样;第三,这部分Ar气流同时也参与放电过程。中层石英管做成喇叭形,通入Ar气,起作维持等离子体的作用。内层石英管内径为1~2mm左右,载气带着试样气溶胶由内管注入等离子体内。试样气溶胶由气动雾化器或超声雾化器产生。
Ar做工作气体的优点: Ar为单原子惰性气体,不与试样组分形成难离解的稳定化合物,也不会像分子那样因离解而消耗能量,有良好的激发性能。本身光谱简单。
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