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真空等离子清洗机工作过程

2021.7.22

  真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内,真空泵开始抽气至一定的真空度,电源启动便产生等离子体,然后气体通入到反应腔室,使腔室中的等离子体变成反应等离子体,这些等离子体与样品表面发生反应,生产可挥发的副产物,并由真空泵抽出。

  真空型等离子清洗机就没那么复杂,按电源频率划分,40KHz和13.56MHz为例:通常情况下材料放入腔体内工作,频率为40KHz 一般温度为65°以下,再者机器内部装有强冷风扇,处理时间不长的话,材料表面温度都会跟室温一致。频率为13.56MHz的就会更低,通常情况是30°以下。所以处理一些受热易发生形变的材料,低温真空型等离子清洗机的是在再适合不过的了。真空等离子清洗机在工作中,腔体内部的离子是不定向的,只要材料在腔体裸露出的部分,不管是哪个面哪个角落都可以洗得到。

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