能量色散X射线荧光光谱仪
(1)现场和原位EDXRF。
现场和原位EDXRF分为两种: ①移动式谱仪，系指可以随身携带的谱仪，用于现场分析; ②手持式谱仪， 要求整机质量小于1.5 kg，可实施原位分析。
现场EDXRF谱仪依据所用的激发源、探测器和电子学线路、谱仪的技术指标可划分为四代。第一代约在 20世纪60年代中期，由英、美两国有关单位研制的便携式放射性核素源XRF谱仪，使用平衡滤光片技术， 仅能分析单个元素，且要测定两次。第二代始于20世纪60年代末，采用多道分析器并用高斯拟合的方法进行解谱，一次可测量4个元素，20世纪80年代推岀的用小型X射线管激发、正比计数器和多道分析器商品仪器，一次可分析约20个元素;到了20世纪90年代，以电致冷半导体探测器(HgI2或Si－PIN)为主要特征的第三代谱仪，可实时进行解谱和以Sherman方程为基础的基体校正，一次可分析约30个元素。自本世纪初以来，SDD和Si－PIN探测器经不断完善，分辨率和可靠性均有所提高，并配有微型X射线发生器和微型X射线管，具有数字滤波、成型与稳谱等功能，使现场和可携式XRF谱仪在多元素分析能力、准确度和检出限、小型化等指标与第三代谱仪相比均有质的提高。
(2)高能和偏振EDXRF谱仪。
Harada等报道了实验室用的高能EDXRF光谱分析装置及应用于高原子序数元素分析的优点。2004年Nakai对高能X射线荧光光谱仪的近况和应用作了评述，他介绍了2003年PANalytical公司推出的偏振Epsilon 5 EDXRF光谱仪。该仪器在100 kV高电压、功率600 W情况下工作，使用Gd 靶或Sc－W复合靶的X射线管，为了对周期表中Na～U元素进行选择激发，配置了9个二次靶以满足测量需要。使用高纯Ge探测器，对MnKα 分辨率小于140 eV，可满足1～120 keV能量区间的X射线检测，对重元素的K系线测量效率接近100%，使 XRF分析技术用于准确测量10－7～10－6 g量级的Cd、Sb、Se、Ta、Tl、I及Pr～ Lu的13个稀土元素成为可能，在某种意义上弥补了目前WDXRF 谱仪的不足，可测定地质和古陶瓷样品中60个以上的元素。
(3)全反射X射线荧光光谱仪(TXRF)。
日本学者在1971年将少量样品放置在平滑的全反射支撑物上进行分析，此后TXRF技术在欧洲得到发展， 1980年TXRF商品仪器在德国问世。我国学者刘亚雯在20世纪80年代后期首先撰文介绍了这一技术，她所在课题组于1990年研制出有2个反射体的实验装置。此后我国其他学者相继制造了用X射线光源和2个反射体的小型全反射谱仪、同步辐射为光源的全反射谱仪和三重全反射光路的TXRF谱仪。近几年国内已能生产商品仪器。
(4)微束X射线荧光光谱仪(μ－XRF)。
μ－XRF具有原位、多维、动态和非破坏性特征，近20年来，广泛用于生物样品活体分析、文物分析和刑侦科学中指纹样品鉴定等领域，已成为研究X射线光谱学的热点。二维μ－EDXRF谱仪已商品化，通常是50 μm微聚焦源和会聚X光透镜组成，使用Mo靶，最高电压50 kV，最大电流1 mA，功率连续可调。近年来相继研制岀三维μ－XRF谱仪。
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