本专题涉及硅表面的标准有61条。
国际标准分类中,硅表面涉及到分析化学、金属材料试验、长度和角度测量、半导体材料、绝缘流体、橡胶和塑料工业的生产工艺、集成电路、微电子学、技术制图、电子设备用机械构件、半导体分立器件、无机化学、与食品接触的物品与材料。
在中国标准分类中,硅表面涉及到基础标准与通用方法、金属物理性能试验方法、基础标准与通用方法、元素半导体材料、半金属与半导体材料综合、电子光学与其他物理光学仪器、半金属、金相检验方法、、、半导体分立器件综合、化学、轻金属及其合金分析方法、标志、包装、运输、贮存、基础标准与通用方法、。
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