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关于显微红外光谱仪的附件相关介绍

2022.2.14

  傅里叶红外光谱(FT-IR)则比较适合做有机异物或污染物分析。红外光谱的一个特点是附件众多,适用于不同状态的样品,液体,固态,薄膜,粉末等等。红外光谱为吸收谱,所以一定要穿过样品并扣除背景之后才能获得谱图。采集方式有以下四种,透射,衰减全反射(ATR),漫反射,镜面反射(Microscope)。下图为基于反射模式的显微红外光谱仪,通过调节如图的光斑来选区(ROI, region of interest),选区面积较小,特别适用于bonding pad,Ball Land等光亮表面污染的分析。反射模式下样品越平、底面反光度越高,谱图质量就越好,这也很好理解,因为表面粗糙度越小,光线被散射的越少,被反射的也越多。当然显微红外还有透射模式,不过不常用。

  显微红外有一个比较特殊的附件,Tip ATR Crystal,使用时装在显微镜的镜头上。Tip直径宜选择小的,可以戳在样品上,适合做Compound表面、PCB表面等相对较软的表面有机异物及污染物分析。Tip还可用于FT-IR Mapping,不过分辨率较差,用于分析的意义并不大。

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